CN119631299A 具有调谐共振叠层的声波器件及其制造方法 （Rf360新加坡私人有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119631299A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202380048884.5

(22)申请日2023.06.07

(30)优先权数据

17/814,9942022.07.26US

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2024.12.20

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/SG2023/0504032023.06.07

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/025458EN2024.02.01

(71)申请人RF360新加坡私人有限公司地址新加坡新加坡市

(72)发明人M·席克C·赛兰斯克T·梅茨格W·艾格纳F·施特尔

(74)专利代理机构北京市金杜律师事务所

11256

专利代理师姚宗妮

(51)Int.Cl.

H03H9/02(2006.01)

H03H9/17(2006.01)

H03H3/04(2006.01)

权利要求书3页说明书14页附图17页

(54)发明名称

具有调谐共振叠层的声波器件及其制造方

法

(57)摘要

CN119631299A公开了一种具有调谐共振叠层的体声波(BAW)(100)器件。BAW器件包括在压电层(110)的顶侧(STOP)上的不同区域(108(A)、1