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ZL 202110967503.6-等离子体处理装置和等离子体处理方法-授权.pdfVIP

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  • 2026-06-02 发布于重庆
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ZL 202110967503.6-等离子体处理装置和等离子体处理方法-授权.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN114121589B

    (45)授权公告日2026.05.29

    (21)申请号202110967503.6(51)Int.Cl.

    H01J37/32(2006.01)

    (22)申请日2021.08.23

    H10P72/00(2026.01)

    (65)同一申请的已公布的文献号

    (56)对比文件

    申请公布号CN114121589A

    CN108028167A,201

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