ZL 202180043906.X-用于基板处理设备的阻断阀以及基板处理设备-授权.pdfVIP

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  • 2026-06-02 发布于重庆
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ZL 202180043906.X-用于基板处理设备的阻断阀以及基板处理设备-授权.pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN115917199B

(45)授权公告日2026.05.29

(21)申请号202180043906.X(72)发明人闵明基李泰昊

(22)申请日2021.05.25(74)专利代理机构北京市立康律师事务所

11805

(65)同一申请的已公布的文献号

专利代理师梁挥

申请公布号CN115917199A

(51)Int.Cl.

(43)申请公布日2023.04.04

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