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研究报告

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高分辨电子显微学方法及其在半导体材料研究中的应用

一、高分辨电子显微学概述

1.高分辨电子显微学的发展历程

(1)高分辨电子显微学（HRTEM）的发展历程可以追溯到20世纪40年代，当时电子显微镜的分辨率受到电子与物质相互作用以及电子束聚焦技术的限制。然而，到了20世纪60年代，随着电子光学技术的进步，特别是透射电子显微镜（TEM）的出现，分辨率得到了显著提升。这一时期，英国科学家G.B.Dearnaley和A.L.Thwaites在1963年首次实现了原子分辨的成像，标志着高分辨电子显微学的诞生。此后，HRTEM技术不断发展，分辨率逐渐突破