CN119637819A 一种氩气回收纯化方法和装置 （上海启元气体发展有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119637819A

(43)申请公布日2025.03.18

(21)申请号202510174808.X

(22)申请日2025.02.18

(71)申请人上海启元气体发展有限公司

地址201800上海市嘉定区和裕路150号3

幢202.204室

(72)发明人周大荣俞俊

(74)专利代理机构上海微策知识产权代理事务所(普通合伙)31333

专利代理师汤俊明

(51)Int.Cl.

C01B23/00(2006.01)

B01D53/04(2006.01)

B01D53/86(2006.01)

B01D46/00(2022.01)

B01D53/62(2006.01)

权利要求书2页说明书7页附图2页

(54)发明名称

一种氩气回收纯化方法和装置

(57)摘要

CN119637819A一种氩气回收纯化方法和装置，纯化方法，包括：工作台回收后的粗氩气过滤掉固体颗粒；压缩后的粗氩气脱除水分、一氧化碳和二氧化碳；净化冷却后脱除氮气、氧气和杂质得到高纯氩气，高纯氩气复热进入生产线；纯化装置，包括：回收真空泵、粗氩过滤器、回收缓冲器、回收压缩机、外低温吸附器、低温冷箱、主换热器和内低温吸附器。本发明，粗氩气经过过滤压缩至稍高于氩气使用工艺所需压力后，再通过外