水下流场传感器柔性复合材料设计与制造进展.pdf

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3.传感器水下测试

1.水场传感器制作

(1)G/PVDF放电击穿为压阻材料可行性尝试

(2)流场感知传感器工艺设计

(3)仿真优化结构参数,绘制光刻、溅射掩模板

(4)流场传感器制造调试

主要进展

1.水场传感器工艺路线

主要进展

1.水场传感器工艺路线

a:玻璃片上旋涂PDMS,3000r/min30s。

b:50

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