3.传感器水下测试
1.水场传感器制作
(1)G/PVDF放电击穿为压阻材料可行性尝试
(2)流场感知传感器工艺设计
(3)仿真优化结构参数,绘制光刻、溅射掩模板
(4)流场传感器制造调试
主要进展
1.水场传感器工艺路线
主要进展
1.水场传感器工艺路线
a:玻璃片上旋涂PDMS,3000r/min30s。
b:50
3.传感器水下测试
1.水场传感器制作
(1)G/PVDF放电击穿为压阻材料可行性尝试
(2)流场感知传感器工艺设计
(3)仿真优化结构参数,绘制光刻、溅射掩模板
(4)流场传感器制造调试
主要进展
1.水场传感器工艺路线
主要进展
1.水场传感器工艺路线
a:玻璃片上旋涂PDMS,3000r/min30s。
b:50
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