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西安3英寸芯片生产厂房洁净室设计施工组织设计.pdf

西安3英寸芯片生产厂房洁净室设计施工组织设计.pdf

    《西安3英寸芯片生产厂房洁净室设计项

    目施工组织设计》

    内壁再用干燥压缩空气吹扫压力最后用塑料膜封口安装风管支吊架采用镀锌槽钢间距与墙面间隙风管与连接用防火帆布软接头长度避免振动传递调试安装时机吊顶完成室内清场后防止灰尘污染高效过滤器调试内容用热球风速仪测每个的个边角距风口处平均风速控制在用粒子

    一、工程概况

    1.1项目背景

    本项目位于西安高新技术产业开发区，为某半导体企业3英寸

    芯片生产基地的核心净化区域，主要承担光刻、蚀刻、扩散等前端

    工序。3英寸芯片制程对微环境的

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