CN119795031A 一种装载杯及其使用方法、晶圆抛光装置和处理设备 (华海清科股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-06-03 发布于重庆
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CN119795031A 一种装载杯及其使用方法、晶圆抛光装置和处理设备 (华海清科股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119795031A

(43)申请公布日2025.04.11

(21)申请号202510146839.4

(22)申请日2025.02.11

(66)本国优先权数据

202411967513.X

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