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- 2026-06-03 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119812111A
(43)申请公布日2025.04.11
(21)申请号202411943519.3
(22)申请日2024.12.27
(71)申请人赛莱克斯微系统科技（北京）有限公
司
地址100176北京市大兴区北京经济技术
开发区科创八街21号院1号楼(北京自
贸试验区高端产业片区亦庄组团)
(72)发明人王荣栋王鹏辉马诗潇杨志政
王盛曦陆原
(74)专利代理机构北京众达德权知识产权代理
有限公司11570
专利代理师李娇
(51)Int.Cl.
H01L21/768(2006.01)
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