CN119643908A 一种薄膜透射样品制备方法 （吉林大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119643908A

(43)申请公布日2025.03.18

(21)申请号202510181085.6

(22)申请日2025.02.19

(71)申请人吉林大学

地址130012吉林省长春市朝阳区前进大

街2699号

申请人西北有色金属研究院

(72)发明人孙贵训孙朔宰伟赵亮韩双马赫方秋月

(74)专利代理机构深圳市洪荒之力专利代理有限公司44541

专利代理师刘真

(51)Int.Cl.

G01Q30/20(2010.01)

权利要求书1页说明书5页附图4页

(54)发明名称

一种薄膜透射样品制备方法

(57)摘要

CN119643908A本发明涉及薄膜透射样品技术领域，公开了一种薄膜透射样品制备方法，包括以下步骤：选取物理气相沉积制备的硅衬底的致密金属薄膜作为薄膜样品，将薄膜样品切割后使用无水乙醇进行清洗；将薄膜样品的薄膜面粘在玻璃片上，再将玻璃片粘在磨样器上，暴露薄膜样品硅衬底的一侧，以“8”字路径在砂纸对硅衬底进行打磨减薄；将步骤2打磨后的薄膜样品从玻璃片上取下，清洗后进行二次打磨减薄，本发明可制备薄膜样品的平面透射样品，弥补了聚焦离子束和对粘方式仅观测截面透射区域的不足，同时对样品的需求量较小，大大提高了样品的使用率；针对脆性