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- 2026-06-05 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN122128693A
(43)申请公布日2026.06.02
(21)申请号202411748382.6
(22)申请日2024.11.29
(71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司
地址100176北京市大兴区北京经济技术
开发区文昌大道8号
(72)发明人杨帅杨慧萍贾溢
(74)专利代理机构北京荟英捷创知识产权代理
事务所(普通合伙)11726
专利代理师鞠建
(51)Int.Cl.
C23C16/52(2006.01)
H10P72/00(2026.01)
C23C16/455(2006.01)
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