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微机电系统概论教学大纲.pdfVIP

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  • 2026-06-04 发布于河北
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微机电系统概论教学大纲.pdf

    微机电系统概论教学大纲

    目录

    一、课程开设目的与要求2

    二、教学中应注意的问题3

    三、课程内及学时分配3

    第一章微机电系统概述3

    第一节MEMS的形成4

    第二节MEMS的原理设计4

    第三节MEMS制造技术4

    第一章微机电系统的制造技术4

    第一节集成电路使用的材料•；4

    第二节薄膜制造及外延生长；4

    第三节

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