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《微机电系统设计学》读书报告

——浅谈微型机器人

摘要：微型机器人是微机电系统的重要分支，是微机电系统开展的高级形式。本阐述了

微型机器人的概念及关键技术；论述了现阶段国内外的研究现状，介绍了它的应用；最后

指出了微型机器人的开展中尚待解决的问题。

关键词：微型机器人，微机电系统

前言

机器人技术是•门快速开展的高新技术，在许多领域得到了口益广泛的应用，并对人

类社会产生着日益重大的影响。微型机器人(Micro-Robotics)是指集成了微型作业工具、

各种微小型传感器，具有通用编程能力的小型移动机构。

微机电系统(MicroElectromechanicalSystem,MEMS)是指可批量制作的，将微型机

构、微型传感器、微型执行器、信号处理和控制电路、以及接口通信和电源等集于一体的

微型器件或系统。20世纪80年代后期，随着大规模和超大规模集成电路的迅速开展，微

电子技术与机械、光学