CN119647209A 一种基于反作用力分析的探针卡仿真方法及系统 （道格特半导体科技(江苏)有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119647209A

(43)申请公布日2025.03.18

(21)申请号202510022484.8

(22)申请日2025.01.07

(71)申请人道格特半导体科技（江苏）有限公司

地址226000江苏省南通市启东市经济开

发区林洋路500号

(72)发明人黎华盛钟惺

(74)专利代理机构江苏南通启海专利商标代理事务所(普通合伙)32812

专利代理师闫娟

(51)Int.Cl.

G06F30/23(2020.01)

G06F30/27(2020.01)

G06N3/092(2023.01)

G06F119/14(2020.01)

权利要求书4页说明书14页附图2页

(54)发明名称

一种基于反作用力分析的探针卡仿真方法

及系统

(57)摘要

CN119647209A本发明公开了一种基于反作用力分析的探针卡仿真方法及系统，用于晶圆仿真测试领域，该探针卡仿真方法包括以下步骤：集成多物理场工况构建探针卡几何模型，将探针卡几何模型导入有限元仿真分析软件中；利用混合体素树模型对探针卡几何模型进行网格划分，并根据多物理场的分布需求调整网格密度，同时根据实际仿真需求利用预设的边界条件模板设置仿真的边界条件；基于调整后的网格密度与仿真的边界条件启动仿真计算过