CN119993882A 一种光伏电池ald工艺装卸片机及装卸片方法 （艾华(无锡)半导体科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119993882A

(43)申请公布日2025.05.13

(21)申请号202411906597.6H10F71/00(2025.01)

(22)申请日2024.12.23

(71)申请人艾华（无锡）半导体科技有限公司

地址214000江苏省无锡市锡山区锡北镇

锡港路张泾东段209号

(72)发明人强恒存

(74)专利代理机构无锡亿联盛知识产权代理有

限公司32625

专利代理师蒋丽

(51)Int.Cl.

H01L21/677(2006.01)

C23C16/455(2006.01)

C23C16/52(2006