CN119890079A 一种晶圆盒内晶圆姿态检测方法及装置 (无锡维度机器视觉产业技术研究院有限公司).pdfVIP

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  • 2026-06-05 发布于重庆
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CN119890079A 一种晶圆盒内晶圆姿态检测方法及装置 (无锡维度机器视觉产业技术研究院有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119890079A

(43)申请公布日2025.04.25

(21)申请号202411898612.7G01N21/84(2006.01)

G01D21/02(2006.01)

(22)申请日2024.12.23

(71)申请人无锡维度机器视觉产业技术研究院

有限公司

地址214000江苏省无锡市锡山区经济技

术开发区荟智企业中心锡沪东路588

号4号楼

(72)发明人陈光宇宋淑娟

(74)专利代理机构合肥和瑞知识产权代理事务

所(普通合伙)34118

专利代理师金宇平

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