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集成电路关键技术：工艺突破与发展

目录

集成电路关键技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.1集成电路的基本概念．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.2集成电路在现代社会的重要性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.3关键技术发展历程回顾．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

集成电路制造工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

2.1光刻技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

2.2材料科学在集成电路中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

2.3化学气相沉积技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

集成电路设计技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

3.1集成电路设计流程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

3.2电路仿真与验证．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

3.3设计自动化技术．．．．．