CN119376194A 一种套刻测量方法、装置、设备及存储介质 (苏州镁伽科技有限公司).pdfVIP

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  • 2026-06-06 发布于重庆
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CN119376194A 一种套刻测量方法、装置、设备及存储介质 (苏州镁伽科技有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119376194A

(43)申请公布日2025.01.28

(21)申请号202411931229.7

(22)申请日2024.12.26

(71)申请人苏州镁伽科技有限公司

地址215000江苏省苏州市中国(江苏)自

由贸易试验区苏州片区苏州工业园区

玲珑街88号

(72)发明人王志彦

(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限

公司11227

专利代理师姚文杰

(51)Int.Cl.

G03F7/20(2006.01)

权利要求书2页说明书9页附图3页

(54)发明名称

一种套

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