CN119654437A 在真空电弧蒸发器中蒸发阴极的方法 （雷纳·克雷默）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119654437A

(43)申请公布日2025.03.18

(21)申请号202380057468.1

(22)申请日2023.07.26

(30)优先权数据

102022118927.92022.07.28DE

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.01.27

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/DE2023/1005482023.07.26

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/022558DE2024.02.01

(71)申请人雷纳·克雷默

地址德国蒙绍

(72)发明人雷纳·克雷默

扬-奥勒·阿肯巴克杨思嘉西蒙·克雷默

(74)专利代理机构北京市浩天知识产权代理事务所(普通合伙)11276

专利代理师张瑛

(51)Int.Cl.

C23C14/32(2006.01)

H01J37/32(2006.01)

权利要求书1页说明书3页附图1页

(54)发明名称

在真空电弧蒸发器中蒸发阴极的方法

(57)摘要

CN119654437A本发明涉及一种通过电弧蒸发工艺在真空腔室中蒸发阴极的方法，在该方法中，点燃电弧并通过磁体影响电弧的阴极斑点在待蒸发的阴极表面上的预定轨迹上的速度和运动。根据本发明，在阴极的中心(12)点燃电