原创力文档IEC62622：纳米技术中的人造光栅——尺寸质
量参数与测量
理解IEC/TS62622关于光栅校准、质量表征和精密定位应用的规范
纳米技术中人造光栅的概述
人造光栅是精密设计的周期性结构，作为纳米尺度制造和计量中的基本参考标准。IEC/TS62622提
供了描述、测量和评定这些关键组件的尺寸质量参数的综合技术规范。从半导体光刻到扫描探针显
微镜校准，人造光栅的质量直接影响着在纳米尺度下运行的定位系统、对准系统和测量仪器的精
度。
该规范将人造光栅定义为周期性排列的
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