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半导体槽式清洗设备用石英载具.pdfVIP

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  • 2026-06-06 发布于河南
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半导体槽式清洗设备用石英载具.pdf

    ICS81.040.30

    CCSQ35

    团体标准

    T/CEMIA×××－××××

    半导体槽式清洗设备用石英载具

    (Quartzcarrierforsemiconductortrough-typecleaningequipment)

    （征求意见稿）

    本稿完成日期：2026年5月10日

    20××-××-××发布20××-××-××实施

    中国电子材料行业协会发布

    T/CEMIA×××－×

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