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集成电路外延设备用圆形反应腔室石英穹顶.pdfVIP

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  • 2026-06-06 发布于河南
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集成电路外延设备用圆形反应腔室石英穹顶.pdf

    ICS81.040.30

    CCSQ35

    团体标准

    T/CEMIA×××－××××

    集成电路外延设备用圆形反应腔室石英

    穹顶

    （CircularReactionChamberQuartzDomeforIntegratedCircuitEpitaxy

    Equipment）

    （征求意见稿）

    本稿完成日期：2026年5月10日

    20××-××-××发布20××-××-××实施

    中国电子材料行业协会发布

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