氧化铟锡蒸发料编制说明.pdf

《氧化铟锡蒸发料》编制说明

一工作简况

1.1任务来源

根据国标委发〔2022〕6号的文件要求，《氧化铟锡蒸发料》国家标准的制定任务由先

导电子科技股份有限公司负责完成，项目计划编号T-610。标准制定的单位为：

成都中建材光电科技有限公司、安徽光智科技有限公司、中山智隆新材料科技有限公司、广

东先导稀材股份有限公司、福建阿石创新材料股份有限公司、芜湖映日科技股份有限公司等。

1.2标准制定的目的和意义

氧化铟锡（即IndiumTinOxide，简称ITO）蒸发料是将氧化铟和氧化锡粉末按一定比

例混合后经过一系列的生产工艺加工成型，再高温气氛烧结形成的黄色陶瓷材料，氧化铟锡

蒸发料最主要的应用是在LED灯等照明设备中，氧化铟锡可以作为电极材料，具有良好的导

电性能和稳定性能；LED灯有多种颜色，是因为光的波长决定光的颜色，波长取决于形成PN

结的化合物材料，在形成PN结时需要在外延P型取设置一层透明导电层，以提高LED芯片

的电流扩展和光的萃取率等性能。氧化铟锡薄膜材料具有低电阻率、高可见光透过率、高的

机械硬度、良好的化学稳定性和对基片附着力强等优点，而被广泛用于形成LED芯片中的透

明导电层(即ITO透明导电层)。氧化铟锡蒸发料的氧化铟和氧化锡按照不同的比例形