CN119351963A 用于制造热沉的种子层双面溅射装置 （深圳市湃泊科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119351963A

(43)申请公布日2025.01.24

(21)申请号202411932265.5

(22)申请日2024.12.26

(71)申请人深圳市湃泊科技有限公司

地址518000广东省深圳市宝安区松岗街

道江边社区江碧环保科技创新产业园

二号厂房801

申请人东莞市湃泊科技有限公司

(72)发明人安屹陈琦秦太梦陈维

(74)专利代理机构深圳智趣知识产权代理事务

所(普通合伙)44486

专利代理师李兴生

(51)Int.Cl.

C23C14/34(2006.01)

C23C14/50(2006.01)