CN119347800A 一种晶圆清洗机械臂运动稳定性自适应调节系统及方法 （思恩半导体科技(苏州)有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119347800A

(43)申请公布日2025.01.24

(21)申请号202411930123.5

(22)申请日2024.12.26

(71)申请人思恩半导体科技（苏州）有限公司

地址215512江苏省苏州市常熟市碧溪街

道通江路305号4号（6#车间）1-2层

(72)发明人蔡永礼叶曲波王文和

(74)专利代理机构苏州科权知识产权代理事务

所(普通合伙)32561

专利代理师张倩

(51)Int.Cl.

B25J9/16(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

H01L21/687(2006.01)