CN119668055A 一种生成sem图像的方法及装置 （弈芯科技(杭州)有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119668055A

(43)申请公布日2025.03.21

(21)申请号202510193076.9

(22)申请日2025.02.20

(71)申请人弈芯科技（杭州）有限公司

地址311121浙江省杭州市余杭区仓前街

道欧美金融城9幢404室-01

(72)发明人李景峰黄义铭

(74)专利代理机构北京安信方达知识产权代理

有限公司11262

专利代理师李丹

(51)Int.Cl.

G03F7/20(2006.01)

权利要求书2页说明书7页附图1页

(54)发明名称

一种生成SEM图像的方法及装置

(57)摘要

CN119668055A本申请公开了一种生成SEM图像的方法及装置，充分利用仿真数据的结构化信息，同时结合图像处理技术，得到了以光刻仿真为核心的，基于版图设计数据的SEM图像，确保了仿真图像既具有高真实性，又具备灵活的可调节性，省时省

CN119668055A

CN119668055A权利要求书1/2页

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1.一种生成SEM图像的方法，其特征在于，包括：

将设计版图与光刻仿真模型输入光刻仿真引擎，以生成第一仿真结果；

根据第一仿真结果提取轮廓边