CN119667421A 一种用于apd器件的多参数自动测试方法 （南京理工大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119667421A

(43)申请公布日2025.03.21

(21)申请号202311207493.1

(22)申请日2023.09.19

(71)申请人南京理工大学

地址210094江苏省南京市玄武区孝陵卫

街道200号南京理工大学

(72)发明人张闻文张天佑何伟基陈钱

(74)专利代理机构南京理工大学专利中心32203

专利代理师岑丹

(51)Int.Cl.

G01R31/26(2020.01)

权利要求书2页说明书6页附图3页

(54)发明名称

一种用于APD器件的多参数自动测试方法

(57)摘要

CN119667421A本发明公开了一种用于APD器件的多参数自动测试方法，利用拟合参数进行光功率校准；上位机驱动照明光源进行视觉亮度调节，利用半自动设备将显微同轴模块与APD器件进行位置配准，使得显微同轴模块出射光垂直照射在APD器件光敏面中心；根据需求对按阵列分布的晶圆类APD器件进行相应的测试，具体为通过上位机控制源表、阻抗分析仪、示波器完成相应光电参数的测试；在不结束测试的情况下，选择是否对其它APD测试点进行相关光电参数测试，若选择对其它APD测试点继续测试，则驱动半自动设备将对应APD测试点与显微同轴模块位置配准。本发明利用上位机程序集成控制