CN119666770A 气体浓度测量装置与方法 （明远精密科技股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119666770A

(43)申请公布日2025.03.21

(21)申请号202311206186.1

(22)申请日2023.09.19

(71)申请人明远精密科技股份有限公司

地址中国台湾新竹县竹北市中和街191巷31号

(72)发明人曾信华

(74)专利代理机构北京成越律师事务所16070

专利代理师蔡艳园

(51)Int.Cl.

G01N21/33(2006.01)

G01N21/01(2006.01)

G01D21/02(2006.01)

权利要求书3页说明书10页附图3页

(54)发明名称

气体浓度测量装置与方法

(57)摘要

CN119666770A本发明涉及一种气体浓度测量装置与方法包含气体检测腔、温度感测组件、压力感测组件、光源供应装置及光感测装置，用以量测待测气体(如臭氧)之气体浓度。温度感测组件及压力感测组件分别测量待测气体之温度与压力。光源供应装置采用UV_LED当作紫外光源，并提供具有不同臭氧吸亮度之第一检测光束及校正光束，再以分光组件使其分别分成有通过待测气体之分光及无通过待测气体之分光。光感测装置可分别测量第一检测光束及校正光束之含有臭氧的光强度以及不含臭氧的光强度。经由比较上述之光强度，即可借由比尔_朗伯定律(Beer_Lam