CN119667449A 老化测试系统及其批量老化测试方法 （深圳市晶存科技股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119667449A

(43)申请公布日2025.03.21

(21)申请号202510187118.8

(22)申请日2025.02.20

(71)申请人深圳市晶存科技股份有限公司

地址518000广东省深圳市福田区福保街

道福保社区市花路创凌通科技大厦三

层

(72)发明人颜红华

(74)专利代理机构广州嘉权专利商标事务所有限公司44205

专利代理师林灿伟

(51)Int.Cl.

G01R31/28(2006.01)

权利要求书3页说明书11页附图5页

(54)发明名称

老化测试系统及其批量老化测试方法

(57)摘要

CN119667449A本申请公开了一种老化测试系统及其批量老化测试方法，涉及芯片老化测试领域。系统包括至少两个测试盒，每个测试盒的顶部外表面上开设有多个凹槽、且涂覆有隔热层，凹槽中开设有两个通孔；测试盒中设置有加热模块；多个老化测试板，每个老化测试板包括：设置有测控模块的第一板面；第二板面上设置有两个并列的通过引脚与测控模块电连接的接口模块，每个接口模块与用于插装待测芯片的测试座连接；接口模块嵌装在测试槽内，且与隔热层抵接，测试座穿过通孔放置在测试盒的腔室内；调温模块的每个输出端通过输送管道与两个测试盒连接；控制器与加热模块、测控模块、调温模块电连接