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高纯电子化学品生产线项目洁净车间建设方案.docx

高纯电子化学品生产线项目洁净车间建设方案.docx

    高纯电子化学品生产线项目洁净车间建设方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、项目概述 3

    二、生产特性分析 6

    三、洁净车间定位 8

    四、设计范围 11

    五、总体设计原则 16

    六、功能分区规划 20

    七、工艺流程布局 22

    八、洁净等级划分 26

    九、人员物流组织 28

    十、物料流转设计 32

    十一、环境控制指标 35

    十二、空气净化系统 41

    十三、温湿度控制系统 42

    十四、压差控制系统 45

    十五、气流组织方案 48

    十六、送排风系统 53

    十七、纯水与气体配套 56

    十八、供配电系统 60

    十九

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