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CN119669690A 一种基于数据分析的研磨液性能自动评估方法及系统 （苏州安光微电子科技有限公司）.docxVIP

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  • 2026-06-07 发布于山西
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CN119669690A 一种基于数据分析的研磨液性能自动评估方法及系统 （苏州安光微电子科技有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119669690A

    (43)申请公布日2025.03.21

    (21)申请号202411739167.X

    (22)申请日2024.11.29

    (71)申请人苏州安光微电子科技有限公司

    地址215000江苏省苏州市苏州工业园区

    金鸡湖大道1355号国际科技园A1703室

    (72)发明人董强曹引钱志浩卢宝财

    (74)专利代理机构南通创硕专利商标代理事务所(普通合伙)32733

    专利代理师何胜男

    (51)Int.Cl.

    G06F18/20(2023.01)

    G01N33/00(

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