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- 2026-06-07 发布于山西
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119664803A
(43)申请公布日2025.03.21
(21)申请号202311180712.1
(22)申请日2023.09.13
(71)申请人深圳中科飞测科技股份有限公司
地址518000广东省深圳市龙华区观澜街
道新澜社区观光路1301-14号101、102
(72)发明人陈鲁张龙黄有为张嵩
(74)专利代理机构深圳鼎合诚知识产权代理有限公司44281
专利代理师胡晓东彭家恩
(51)Int.Cl.
F16C32/06(2006.01)
H01L21/6
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