CN119660665A 一种六维力传感器及其制作方法 （北京中科海芯科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119660665A

(43)申请公布日2025.03.21

(21)申请号202510185606.5

(22)申请日2025.02.20

(71)申请人北京中科海芯科技有限公司

地址100089北京市海淀区西三旗建材城

内3幢二层258号

(72)发明人吴肖亮

(74)专利代理机构北京鼎承知识产权代理有限

公司11551

专利代理师夏华栋

(51)Int.Cl.

B81B3/00(2006.01)

G01L5/16(2020.01)

G01L5/1627(2020.01)

B81C1/00(2006.01)

权利要求书1页说明书5页附图2页

(54)发明名称

一种六维力传感器及其制作方法

(57)摘要

CN119660665A本发明公开一种六维力传感器及其制作方法，涉及半导体技术领域，以解决六维力传感器尺寸大，应用领域受限且不利于精确、便捷得对被测物体进行智能化控制的问题。该六维力传感器包括：半导体衬底以及形成在半导体衬底上的半导体结构层，半导体衬底为镂空衬底，半导体结构层的图案为六维力传感器图案，六维力传感器图案与六维力传感器的结构对应。本发明公开的一种六维力传感器及其制作方法用于测量被

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