高纯石英材料生产线项目超纯水系统方案.docx

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高纯石英材料生产线项目超纯水系统方案

目录TOC\o1-4\z\u

一、项目概述 3

二、工艺用水需求分析 5

三、原水特性分析 8

四、超纯水指标要求 10

五、系统总体思路 12

六、工艺流程设计 18

七、预处理单元设置 20

八、反渗透单元设置 23

九、深度脱盐单元设置 26

十、终端抛光单元设置 28

十一、储存与输配设计 31

十二、循环管路设计 34

十三、洁净材质选型 37

十四、关键设备选型 39

十五、仪表与控制方案 41

十六、在线监测配置 44

十七、卫生清洗设计 46

十八、节能

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