全球市场研究报告
一、产品定义与技术基础
1.产品定义与技术定位
Through-GlassVia(TGV)Interposers,即玻璃通孔中介层,是一种基于玻璃基板制造的高密度互连中介结
构,用于先进封装技术中实现芯片之间或芯片与基板之间的垂直电气连接。其核心特征是在玻璃基板上通
过微加工技术形成通孔(Via),并填充导电材料(通常为铜),从而实现垂直互连结构。
TGV中介层属于2.5D及3D先进封装技术体系的重要组成部分,主要用于高性能计算(HPC)、人工智能
芯片、射频器件、光电集成系统以及高带宽存储系统等领域。与传统硅中介层(TSV)相比,玻璃中介层在
电学性能、热稳定性以及成本结构方面具有独特优势。
随着半导体产业向高算力、高带宽与高集成度方向发展,TGV技术逐渐成为替代部分硅中介层与有机基板
的重要技术路径。
2.技术原理与结构特点
TGV技术的核心在于在玻璃基板上形成高纵横比通孔结构。制造流程通常包括玻璃钻孔或激光打孔、孔壁
金属化、铜填充、电镀以及表面平坦化处理等关键步骤。
玻璃材料具有低介电常数与低损耗特性,使其在高频和高速信号传输环境中具有明显优势。相比硅材料,
玻璃的电学损耗更低,有助于提升信号完整性。
此外,玻璃基板具备优良的热稳
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