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CN202480071059.1-用于对基底保持器中的基底进行化学和_或电解表面处理的处理腔室的封闭系统-公开.pdfVIP

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  • 2026-06-08 发布于重庆
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CN202480071059.1-用于对基底保持器中的基底进行化学和_或电解表面处理的处理腔室的封闭系统-公开.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN122139483A

    (43)申请公布日2026.06.02

    (21)申请号202480071059.1(74)专利代理机构上海知锦知识产权代理事务

    所(特殊普通合伙)31327

    (22)申请日2024.10.28

    专利代理师潘彦君

    (30)优先权数据

    (51)Int.Cl.

    102023211090.32023.11.08DE

    H10P72/00

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