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- 2026-06-08 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119334880A
(43)申请公布日2025.01.21
(21)申请号202411911455.9G01N21/63(2006.01)
G01N21/88(2006.01)
(22)申请日2024.12.24
G01N21/95(2006.01)
(71)申请人上海优睿谱半导体设备有限公司
地址201210上海市浦东新区盛夏路570号
1幢402室
(72)发明人丁健朱开毅余先育张兴华
唐德明
(74)专利代理机构上海智晟知识产权代理事务
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