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真空技术与设备应用手册

第1章真空系统基础原理与选型指南

1.1真空度等级分类与物理特性解析

真空度是衡量真空系统性能的核心指标，其数值范围从接近大气压（0.1MPa）到超高真空（10?1?Pa以下），直接影响设备的运行精度与寿命。

低压真空区定义为10??Pa至10?2Pa之间，常用于气体分离与初步干燥；在此区域，气体分子平均自由程开始显著增加，需考虑分子流态对流动阻力的影响。中真空区为10?3Pa至10??Pa，属于半分子流态，此时有效抽速与有效通量之比（E/V）对系统性能至关重要，需通过优化腔体几何结构来最大化抽速。

高真空区为10?2P