CN119832036A 一种背面对准的方法、装置、激光直写曝光设备及介质 （无锡影速半导体科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119832036A

(43)申请公布日2025.04.15

(21)申请号202411905742.9

(22)申请日2024.12.23

(71)申请人无锡影速半导体科技有限公司

地址214000江苏省无锡市新吴区菱湖大

道200号中国传感网国际创新园F3栋

1-3层

(72)发明人窦志前陈海巍吴长江李振杰

(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司

11332

专利代理师闫彦飞

(51)Int.Cl.

G06T7/33(2017.01)

G06T7/35(2017.01)

G06T7/80(2017.01)