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CN119680853A 一种耐腐蚀涂层的处理方法 （中微半导体设备(上海)股份有限公司）.docxVIP

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  • 2026-06-10 发布于山西
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CN119680853A 一种耐腐蚀涂层的处理方法 （中微半导体设备(上海)股份有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119680853A

    (43)申请公布日2025.03.25

    (21)申请号202311235934.9

    (22)申请日2023.09.22

    (71)申请人中微半导体设备（上海）股份有限公司

    地址201201上海市浦东新区金桥出口加

    工区（南区）泰华路188号

    (72)发明人孙祥王枫李文阁

    (74)专利代理机构上海元好知识产权代理有限

    公司31323

    专利代理师贾慧琴包姝晴

    (51)Int.Cl.

    B05D3/06(2006.01)

    B05D3/10(2006.01)

    B0

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