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- 2026-06-10 发布于山西
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119687777A
(43)申请公布日2025.03.25
(21)申请号202510220383.1
(22)申请日2025.02.27
(71)申请人法博思(宁波)半导体设备有限公司
地址315413浙江省宁波市余姚市三七市
镇云山中路28号
(72)发明人李志松张丰怡底复龑宋金龙
(74)专利代理机构北京华清迪源知识产权代理
有限公司11577
专利代理师王萌迪
(51)Int.Cl.
G01B9/02(2022.01)
权利要求书2页说明书7页附图3页
(5
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