原创力文档智能制造设计与制造手册（执行版）
第1章本体结构与基础设计
1.1机械臂结构与关节选型
机械臂结构选型需根据应用场景的负载、重复定位精度及工作空间需求进行匹配，例如在半导体晶圆搬运场景中，通常采用六轴串联式结构，其基座至末端执行器的最大工作空间可达2.5米，重复定位精度需控制在0.02mm以内，以确保微米级晶圆对准的稳定性。关节选型时，应优先考虑高刚度与低摩擦系数的线性关节，对于精密装配，伺服电机配合高重复定位精度的直线导轨是核心选择，典型配置为伺服电机扭矩200N·m、直线导轨行程1000mm、直线度误差0.005mm/m，以保证长时间运行下的运动平稳性。
关节减速
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