《机械工程测试技术》_第１２ 章.ppt

１２.４容栅传感器容栅传感器由动尺和定尺组成,两者保持很小的间隙。如图１２－１６(ａ)所示,动尺上有多个发射电极Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇ、Ｈ和一个长条形接收电极Ｊ;在图１２－１６(ｂ)中,定尺包含多个相互绝缘的反射电极Ｒ和一个屏蔽电极Ｓ。一组发射电极的长度为一个节距Ｗ,一个反射电极对应于一组发射电极,如图１２－１６(ｃ)所示。其发射极和反射极均做成大小和形状不同的栅状电容极板,可有效地提高灵敏度和测量精度。上一页下一页返回１２.４容栅传感器图１２－１６中,４８个发射极分为６组,则每组各有８个发射电极,每隔８个将相同字母的发射电极连在一起,组成一个激励相,在