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氮化硅研发与应用手册.docx

氮化硅研发与应用手册.docx

    氮化硅研发与应用手册

    第1章氮化硅材料基础与制备工艺

    1.1氮化硅材料的晶体结构与性能特性

    氮化硅（Si?N?）具有典型的四方晶系（P42/mnm）或单斜晶系（P3c1m），其中四方相是工业应用中最常见的形态。其晶胞参数$a\approx4.39\text{\AA},b\approx5.55\text{\AA},c\approx8.92\text{\AA}$，空间群$P42/mnm$。这种特定的晶体结构赋予了材料极高的硬度（莫氏硬度约9）和优异的弹性模量，使其成为机械结构件的首选材料。硅氮键（Si-N）键能高达3.3eV，远高于Si-O

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