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- 2026-06-11 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119717394A
(43)申请公布日2025.03.28
(21)申请号202411911829.7
(22)申请日2024.12.24
(71)申请人福建泓光半导体材料有限公司
地址363118福建省漳州市高新区九湖镇
林前村林前773号
(72)发明人毛鸿超李禾禾王静肖楠
宋里千陈晓东
(74)专利代理机构厦门荔信律和知识产权代理
有限公司35282
专利代理师赖秀华
(51)Int.Cl.
G03F7/004(2006.01)
G03F7/20(2006.01)
G03F7/038(2006.01)
H01L
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