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CN119698057A 一种半导体器件的制备方法及半导体器件 （上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司）.docxVIP

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  • 2026-06-12 发布于山西
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CN119698057A 一种半导体器件的制备方法及半导体器件 （上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119698057A

    (43)申请公布日2025.03.25

    (21)申请号202311218591.5

    (22)申请日2023.09.20

    (71)申请人上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司

    地址201807上海市嘉定区娄陆公路497号

    (72)发明人卢珂柳会雄李光煜

    (74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限

    公司11227

    专利代理师刘乐

    (51)Int.Cl.

    H10D84/03(2025.01)

    H10D84/85(2025.01)

    权利要求书2页说明书8页

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