CN119698687A 衬底处理方法 （株式会社斯库林集团）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119698687A

(43)申请公布日2025.03.25

(21)申请号202380055937.6

(22)申请日2023.09.12

(30)优先权数据

2022-1220782022.07.29JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.01.23

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2023/0331192023.09.12

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/024987JA2024.02.01

(71)申请人株式会社斯库林集团地址日本京都

申请人IMEC