磁控溅射制备Ti - Ni合金薄膜及其在微机电系统中的性能与应用研究.docx

磁控溅射制备Ti-Ni合金薄膜及其在微机电系统中的性能与应用研究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的迅猛发展，微机电系统（Micro-Electro-MechanicalSystems，MEMS）作为一门多学科交叉的前沿领域，正深刻地改变着现代科技和人们的生活方式。MEMS是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，它集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体，内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。其诞生和发展是需求牵引和技术推动的综合结果，亦是微电子技术和微机械技术的巧妙结合。

MEMS的发展历程