真空测量与检漏分析.pptVIP

真空测量与检漏主讲人：刘玉岱东北大学真空测量与检漏1真空测量概述2全压力测量3分压力测量4真空计校准I真空测量1.1什么是真空测量真空测量就是真空度的测量，而真空度是指低于大气压力的气体稀薄程度。真空度是用压力来表示的。真空测量包括全压力测量、分压力测量和真空计校准。真空计是指探测低压空间稀薄气体压力所用的仪器。大气压力为101325Pa。直接测量压力是比较少的。测量真空度的办法通常是在气体中造成一定的物理现象，然后测量这个过程中与气体压力有关的某些物理量，再设法间接确定出真实压力来。被测量气体多为混合气体，上述压力测量是指混合气体全压力测量，等于其各组成成分的分压力之和。现代分压力真空计都属于电离类。有时只需知晓被测系统残余气体成分和相对含量，并不要求测出分压力值，所用仪器为残余气体分析仪。正确的压力测量必须用标准真空计或能产生已知低压的校准装置对真空计进行校准。真空计量器具分三类：计量基准器具、计量标准器具和工作计量器具。前两类用于复现和传递真空度量值，统一全国