CN119694868A Imp机台的自清洁方法及操作方法 （青岛澳柯玛云联信息技术有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119694868A

(43)申请公布日2025.03.25

(21)申请号202311231387.7

(22)申请日2023.09.22

(71)申请人青岛澳柯玛云联信息技术有限公司

地址266000山东省青岛市黄岛区太行山

路2号

(72)发明人请求不公布姓名请求不公布姓名请求不公布姓名

(74)专利代理机构上海思捷知识产权代理有限

公司31295

专利代理师沈宗晶

(51)Int.Cl.

H01J37/317(2006.01)

H01J37/08(2006.01)

H01J37/02(2006.01)

权利要求书1页说明书6页附图2页

(54)发明名称

IMP机台的自清洁方法及操作方法

(57)摘要

CN119694868A本发明提供一种IMP机台的自清洁方法及操作方法，所述自清洁方法包括：所述IMP机台包括用于产生等离子体的离子源，所述离子源包括阴极、馈通以及连接所述阴极与所述馈通的抑制弹簧，在所述阴极上施加大于工作电压的清洁电压以对馈通、阴极、或抑制弹簧至少一个进行自清洁。本发明在离子源产生等离子体的过程中在阴极上施加的是工作电压，在需要对IMP机台进行自清洁时增加所述阴极上的电压至清洁电压，所述清洁电压大于所述工作电压，从而利用尖端放电或/和电